泛林集团是一家价值 1000 亿美元的半导体制造设备生产商，它推出了所谓的业界首款协作机器人（cobot），用于负责晶圆制造设备的维护。
该协作机器人名为 Dextro，能够对 Lam 的设备执行准确、高精度的维护工作，这些设备部署在世界各地的半导体制造厂。
林表示，随着晶圆厂不断扩大、地理范围和设备复杂性不断增加以跟上人工智能的热潮，Dextro 在芯片制造过程中的作用至关重要，并指出半导体行业的职位数量已经超过了目前熟练工程师的数量。
Technalysis Research 总裁 Bob O’Donnell 表示：“随着人工智能给半导体市场带来的需求大幅增长，芯片制造商必须尽可能高效地运行所有制造设备，以最大程度地减少停机时间。Dextro 可以自动执行芯片制造设备上繁琐、耗时且通常复杂的清洁和维护任务，从而最大限度地提高制造产量。它为选择部署它的公司带来了巨大的好处。”
Dextro 是一款移动式装置，配有机械臂，由工厂技术人员或工程师操作。它可以配备各种末端执行器作为机械手，以处理关键且耗时且容易出现人为错误的维护工作。
例如，它可以精确地安装和压缩易耗部件，其精度是手动操作的两倍多。它还可以将真空密封的高精度螺栓拧紧到精确的规格，从而减轻了工厂工程师的重复性工作负担，而手动操作的错误率高达 5%。
Dextro 利用自动化和清洁技术，无需拆卸即可清除芯片制造室内侧壁的聚合物堆积。
三星电子副总裁兼内存蚀刻技术团队负责人 Young Ju Kim 表示：“当制造设备需要维护时，必须快速高效地完成工作，以避免延长停机时间和浪费成本。Dextro 的无差错维护有助于提高生产变化性和产量。”
Lam 客户支持业务集团副总裁 Chris Carter 表示：“Dextro 是半导体制造设备维护领域的一次令人振奋的飞跃。它专为与晶圆厂工程师并肩工作而设计，能够以超出人类能力的精确度和可重复性执行复杂的维护任务，从而提高工具正常运行时间和制造良率。”
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